CHOARY

Ion Beam Characterustics of Liquid Metal Ion Source with a Suppre 알]ssor for the Focused Ion Beam System 광운대학교 대학원 전자물리학과 민부기 요약 (Substract) 집속이온빔장치(FIB:Focused Ion Beam System)에 관한 실험 집속이온빔장치는 주로 표면 분석, 집적 회로의 수정, 마스크 교정(Repair) 및 잘못된 부분의 분석(Failure Analysis) 등에 사용됨 / 중요한 것은 집속이온빔장치의 수렴성(Convergence)을 개선해 나가는 것 Convergence는 이온빔의 에너지 퍼짐(Energy Spread)과 각분포(Angular Distribution)에 많은 영향을 받으며 에너지 퍼..

찬음극 전계방출 전자원의 제작과 특성 Fabrication and Characteristics of Cold Cathode Field Emission Electron Source 광운대학교 대학원 물리학과 최복기 요약 abstract 전자의 방출은 광전자 방출, 열전자 방출, 전계방출로 구분됨 전계방출 : 저에너지의 전자가 외부의 전자기장에 의해 변형된 전위 장벽을 터널링하여 생성되는 전자의 방출 해당 연구에선 바늘전극을 제작해 전자원으로 만든 뒤 방출 특성 실험을 진행함 전압 변화에 따른 전류의 변화, 전류의 안정도 측정 , 방출된 전자의 각분포 특성 측정, 에너지 분포 특성을 조사함 전계 방출 불확정성의 원리 입자의 위치를 더 정확히 특정할 수록 운동량이 퍼져있음 터널링 효과 양자역학에서 원자핵을 구..